美國(guó)Setra 真空電容式壓力計(jì)美國(guó)西特730

所屬分類(lèi)：美國(guó)西特
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時(shí)間：2018-3-23 16:41:48

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產(chǎn)品詳情

Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計(jì)（亦稱(chēng)電容式膜片真空計(jì) (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場(chǎng)中測(cè)量對(duì)過(guò)程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達(dá)±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類(lèi)產(chǎn)品。730 型使用全I(xiàn)nconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過(guò)程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測(cè)量設(shè)計(jì)，它能精確測(cè)量介質(zhì)，不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。

適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品
采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動(dòng)態(tài)范圍寬的特點(diǎn)，使之成為關(guān)鍵制造過(guò)程中的理想選擇。

Inconel® 設(shè)計(jì)保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料，因此對(duì)半導(dǎo)體和工業(yè)真空過(guò)程中的腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性。
Inconel®材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)，確保730型在這類(lèi)應(yīng)用中的長(zhǎng)使用壽命。

直接壓力測(cè)量
內(nèi)置膜片可在使用點(diǎn)直接測(cè)量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計(jì)不同，730型測(cè)量直接壓力，不受被測(cè)混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測(cè)量型壓力計(jì)。

應(yīng)用
·半導(dǎo)體處理室
·石化
·等離子體滅菌器

·真空包裝

規(guī)格

性能參數(shù)			物理參數(shù)		電氣參數(shù)(電壓)
精度¹	±0.5%讀數(shù) ±0.25%讀數(shù)(可選)		壓力接口	參見(jiàn)訂購(gòu)信息	激勵(lì)輸出⁴	12-30VDC/0-10VDC 9-30VDC/0-5VDC
響應(yīng)時(shí)間	﹤20MS		接液材料	Lnconel^@	電流消耗	﹤10mA(最大值)
分辨率	無(wú)限，僅受輸出噪聲的限制(≤0.005%FS)		電氣連接	5針螺釘端子、9針D-Sub或15 針D-Sub接頭(位于6^*尾纖上)	輸出負(fù)載	﹥10KΩ
溫度影響²			殼體	不銹鋼	輸出阻抗	﹤1Ω
補(bǔ)償范圍		0～+50℃	腔室體積	﹤6.0cc	電路	3線制
零點(diǎn)漂移		0.25%FS/50℃	重量(近似值)	﹤250g	壓力介質(zhì)
量程漂移		1.35%讀數(shù)/50℃	環(huán)境參數(shù)		與lnoonel^@兼容的氣體或液體。lnoonel^@接液材料僅適用于0.5^*管道選項(xiàng)。其他接頭選項(xiàng)會(huì)添加不銹鋼。
長(zhǎng)期溫度性³		0.5%FS/1年,不受環(huán)境條件影響	溫度
			工作溫度	0至+80℃
認(rèn)證			1.包括非線性、非重復(fù)性盒遲滯 3.在80℃下運(yùn)行時(shí),滿(mǎn)量程范圍小于100Torr 2.產(chǎn)品在66℉進(jìn)行標(biāo)定,最大溫時(shí)為±1.0%FS/年度影響誤差由此數(shù)據(jù)得來(lái) 4.采用50KΩ負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定。可在負(fù)載≥5KΩ時(shí)工作
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